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負圧制御、低蒸気圧用機種!一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク…
『S-TORRVA10シリーズ』は、負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを 負圧供給するシリンダーキャビネットで使用可能な圧力調整器です。 接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減。 タイドダイヤフラム式を採用しております。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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出荷検査を全数に実施!タイドダイヤフラム式の超高純度ガス用圧力調整器の…
供給に強い構造となっている超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。接ガス部から スプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。 加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても 対応でき、最高使用圧力は2.5MPaとなっています。 【特長】...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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