［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

下で急激に減衰します。そのため、探針に流入できるキャリアは、探針の極近傍に存在するものに限られ、これを抵抗値として検出することになります。このような局所的な抵抗を広がり抵抗と呼びます。 ■ダイヤモンドコート探針 SSRM では、主に、ダイヤモンドコートされたシリコン製の探針を用います。この先端は数十nm 程度まで先鋭化されており、特に尖りの部分は数nmの鋭利さを持ちます。SSRMはこの微細...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

クライオ加工

やわらかいサンプルを冷却、硬化させ切削可能に

移温度）が低い材料等の超薄切片作製や断面出しを行うことができます。 液体窒素を常に供給することで、試料を液体窒素温度までの任意の温度に冷却したまま保持します。 冷却硬化したサンプルを鋭利なダイヤモンドナイフもしくはArイオンやGaイオンビームで切削することで、 試料切片作製や断面加工を行います。...

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