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サンプルの酸化、試験圧子の熱による劣化を防ぎ、サンプル表面温度を安定し…
・酸化を防ぐ真空環境 10-7 mbar ・試料に応じた適切な高温用圧子の選択(ダイヤモンド、超硬合金) ・圧子・リファレンス圧子による表面温度ドリフトの影響を低減する測定方法 ・振動を最小限に抑える高分子床パッド・4点の空気圧縮設置 ・圧子、リファレンス圧子・サンプルステージ独...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アントンパール・ジャパン
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