技術情報誌 201901-02 ナノメートルスケール局所構造解析

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

．SNOM-RamanによるSiO2/SiC界面応力解析 ４．まとめ 【図表】 図１　近接場光を利用したラマン分光法 図２　AFM(Atomic Force Microscope)位相像、チューブの存在状態(S:半導体型、M:金属型）、各チューブのRBMスペクトル 図３　AFM-Ramanスペクトル、D/G比分布 図４　交点のAFM-Ramanスペクトル 図５　近接場ラマンの光学系 ...

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