高精度リニアステージ『トゥルー・ナノ・ポジショニング』

【デモ機あり】繰り返し精度向上！ナノレベルで位置制御ができる、誤差を最…

当社が取扱う『トゥルー・ナノ・ポジショニング』は、 ナノメーターレベルで位置制御ができる、高精度を追求したリニアステージです。 6軸ステージにより３Dでの自由曲線を描くことができます。 独自6D precisionで従来のISOによる2Dと比べ、目標位置と実際の位置との誤差を計測し、そして、最小化することにより、真のナノメーターレベルの繰り返し精度を実現できます。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社