クライオポンプ

よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域

高真空 クライオポンプは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。 スピーディーな排気で生産性を向上 到達圧力は、水蒸気の排気速度で決まります。クライオポンプは、特に水蒸気に対して排気速度が大きく、スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献...

メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター