実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

【ALD装置の特長】 ■プリカーサの熱分解リスクの低減 ■バブリングを用いないパーティクルレス化 ■供給・排気ラインの適した温度管理 ■Hi-Watty（AlNヒータ）を採用したヒートステージ ■多様なカスタマイズと安全構造 ■成膜種例（Al2O3、TiO2、HfO2、ZrO2、TiN、AlN 等） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社