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半導体・液晶プロセスなどにおける各種流体コントロール。 脱気モジュー…
電装産業株式会社では、半導体・液晶プロセスなどにおける 液体・気体などの流体をコントロールする製品を多数取り扱っています。 液体プロセス中の溶存気体を除去する「脱気モジュール」をはじめ、 耐薬品性やクリーン度を要求するラインの様々な液体をコントロールする 「ファインケミカルレギュレータ」や「プラグバルブ」などのテフロン製品 など、幅広いラインアップを提供しています。 ※詳しくは...
メーカー・取り扱い企業: 電装産業株式会社
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