ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…

Pa ■最大流量：30L/min(nor)(P1=10MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：1.2kg(2ポート)、1.6kg(3ポート) ■内蔵フィルター濾過度：20μm ■接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm(オプション：Ra0.1μm） ■出入口ポート口径：1/4" ■外部リーク量：1.3×10^-11Pa・m3/sec以下 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-1300シリーズ』

一次側高圧用標準機種！電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整…

『TORR-1300シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に 広くご使用い...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部