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一次室の流路にフィルターを内蔵している液化ガス、腐食性ガス用大流量機種
液化ガスを大流量で 供給するための調整器です。 Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調整器 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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接ガス部のネジ構造を排除!パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…
Pa ■最大流量:30L/min(nor)(P1=10MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:1.2kg(2ポート)、1.6kg(3ポート) ■内蔵フィルター濾過度:20μm ■接ガス金属部面粗さ:Ra0.25μm(オプション:Ra0.1μm) ■出入口ポート口径:1/4" ■外部リーク量:1.3×10^-11Pa・m3/sec以下 ※詳...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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電解研磨仕様品の製作も可能!Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実…
『TORR-Hシリーズ』は、二次側の高圧制御が可能な機種です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 電解研磨仕様品の製作も可能で、Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施してい...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次側高圧用標準機種!電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整…
『TORR-1300シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に 広くご使用い...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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