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分光干渉方式による薄膜の高精度測定を実現!3層までの多層測定に対応可能
『AccureS』は、分光干渉方式による薄さ測定器です。 測定部が幅方向にトラバースし、1mmピッチのデータを測定・表示。 解析方法はカーブフィッティング法とFFT(高速フーリエ変換)法の 2パターンを使用でき、素材に合わせて好適な解析法を選択できます。 照射部と受光部が一体となった1軸駆動のため、測定部のサイズが小さく コンパクトです。 【特長】 ■1...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヒューテック
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