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人的ミス防止で生産効率UP!ワイヤソー用スラリーを自動搬送・計量・調合…
本製品は、半導体ウェハをインゴットの状態から、ワイヤソーにより切断する際に、必要となるスラリーの製造を目的とした設備です。 2台の撹拌設備、1台の貯蔵設備、3台のコンベア、オイル搬送用のポンプで構成され、粉体搬送による発塵を防止するための集塵機も搭載しています。粉体搬送は自動で行い、モータ、ポンプ、ロードセルなどは非防爆仕様で、省力化に配慮をしています。 登録されたレシピに従い搬送、計量、調合...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部
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