両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』

ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応

最大φ4インチ『BS425』 　・最大φ6インチ『BS620』 ■適用マスク 　・最大口5インチ『BS425』 　・最大口7インチ『BS620』 　・マスク・ウェハサイズ変更は上下マスクホルダー交換 ■露光性能 　・有効露光範囲φ105mm Hgランプ250W ■UV照度 　・上側約15mW／cm2以上 　・下側15mW／cm2以上（at365nm） 　・照度均一度約±10％...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック