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蒸着源はボートタイプ!基板は支柱上のプレートに取付けられており高さは任…
【仕様】 ■SUSチャンバー ■到達圧力 7×10^-2Pa ■基板ホルダー φ1インチ ■抵抗加熱蒸着源 Wボートタイプ 2基 ■DP1500L/s ■RP220L/m ■ピラニー真空計 電離真空計 標準装備 ■シャッター機構 ※詳しくは外部リンクページ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社和泉テック
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