2次元抵抗加熱蒸着装置

蒸着源はボートタイプ！基板は支柱上のプレートに取付けられており高さは任…

【仕様】 ■SUSチャンバー ■到達圧力　7×10^-2Pa ■基板ホルダー　φ1インチ ■抵抗加熱蒸着源　Wボートタイプ　2基 ■DP1500L/s ■RP220L/m ■ピラニー真空計　電離真空計　標準装備 ■シャッター機構 ※詳しくは外部リンクページ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック