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安定な高密度プ ラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成するマイ…
『MDD-2016』は、高出力（最大5kW）のマイクロ波電源および自動整合器（4Eチューナ） により、安定な高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できる装置です。独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態で基板上のプラズマ分布を制...
メーカー・取り扱い企業： 日本高周波株式会社
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