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卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置
Arradiance社製卓上型ALD装置 卓上型ながらプラズマユニット…
膜可能。 酸化膜以外にも窒化物、PtやRuの金属の成膜も対応。 4系統のマスフロー制御プラズマ・ガス入力を備えた300W空冷ダイレクトICPプラズマヘッド 最大300°Cまで調整可能なリアクター(反応器)温度 低蒸気圧用の材料供給加圧アシスト機能付き 試料ステージは直径200mm基板まで選択可能 450℃加熱ステージも選択可能 Arradiance GEMFlowソフトウェ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイチ・ティー・エル HTL(エイチティーエル)
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