ウェット式拭き取り材『ベルクリン シリーズ』

PR微小異物も確実にキャッチ。電子機器の拭き取り、クリーンルーム内の清掃等…

『ベルクリン シリーズ』は、微細気孔を有し吸水性、保水性にも優れたウェット式拭き取り材です。「ワイパー」としてはもちろん、さらに幅広く機能的に使用するための「モップタイプ」や「スワブタイプ」もラインアップしています。 ソフトな風合いにより、さまざまな対象にフィットし、表面の微細な気孔がパーティクルを確実にキャッチ。紙や繊維素材と異なり樹脂一体構造のスポンジ素材のため、毛羽立ちや糸屑の脱落が無...

メーカー・取り扱い企業： アイオン株式会社

クラウド型鍵管理システム『CKS-1000』

PR通常の鍵管理機能に加え、鍵の予約機能を追加。また各拠点に設置してある鍵…

鍵管理機「KBS-1000シリーズ」のオプションソフト、 『CKS-1000』はクラウドを使用して鍵管理機を効率的に運用するシステムです。 特定の人が使う鍵は登録者のみ使用が可能で、不特定の人が使う鍵はWEBを通じて予約、使用することができるようになります。 また各拠点に設置してある複数の鍵管理機について、鍵の予約や貸出の状況をパソコンやスマートフォンで確認することが可能になります。 ...

メーカー・取り扱い企業： グローリーテクニカルソリューションズ株式会社 ＡＺ事業部　東京営業グループ

【分析事例】クリーンルーム内有機化合物の評価方法

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

半導体や液晶などの製造が行われているクリーンルームでは、パーティクルだけでなく分子レベルの化学汚染（分子状汚染）を把握することが重要です。浮遊分子状汚染物質としては酸・塩基性ガスや凝集性有機物質、ドーパント、金属などが挙げられ、成分に応じて分析方...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価

Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 （クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】300mmウエハ最表面の異物の評価

異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能

異物検査装置で確認された異物の成分をクリーンルーム設置のTOF-SIMSで特定することが可能です。 CMP洗浄後の異物を評価し、着目の異物から、Cuと炭化水素成分を検出しました。異物周辺には、広範囲で同じ成分が分布していました。このことから、こ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】環境中微量金属元素分析

ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法

クリーンルームや生産ラインなどの環境中に浮遊する金属元素は、製品に付着・混入することで、製品の性能悪化の原因となり得ます。ICP-MSでは、清浄なSiウエハで暴露試験を行い、表面に付着した金属元素量をpptレベ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST