『ASM Epsilon用温度センサー』

新コーティング技術で、センサ寿命3倍！最大45％のコストダウンを実現！

　900℃以上の高温環境下のエピ装置内での、石英シースの失透を劇的に遅らせます。 ■浸食速度のスロー化 　石英管に、高濃度で吹き付けてくる腐食性ガスによる浸食を抑えます。特にセンターTCのロングライフ化に貢献しています。 ■ロングライフ 　このコーティング技術は、センサーの寿命を、最大3倍までを延ばすことが可能です。 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ...

メーカー・取り扱い企業： ＩＢＰテクノロジー株式会社