アルファ・ラバル水処理装置の総合カタログ

PR包括的ソリューションを実現する水処理装置を紹介する総合カタログです

世界各国で運営される水処理施設は、形状も特徴も様々。 独自の条件で稼動するそれらの施設は、克服すべき環境的、経済的課題もそれぞれ異なります。 水処理において世界屈指の充実したプロダクトラインと技術を誇るアルファ・ラバルは、コントラクター、設計者、施設運営者の皆様を支援し、固有の課題の解決につながるベストソリューションを見出すお手伝いをします。 【特徴】 ○運営コスト全体の削減 ○ポリ...

メーカー・取り扱い企業： アルファ・ラバル株式会社

【クライオSEM分析】液体中微粒子の分散状態を評価

急冷凍＋SEM観察により、粒子が分散している様子を画像で確認！ ★第…

液体に分散させて用いる微粒子の粒径・構造を評価する際、液体を乾燥させて粉体として微粒子を取り出し、電子顕微鏡を用いての測定が一般によく行われています。 しかしながら、乾燥による分散状態の変化や粒子の変形が起こるため、どのように分散しているのかを調べるには不向き...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウォーターマーク原因調査

TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定

れたイオン種から由来成分を推定することで、異常がどのプロセスで発生したかを調査することができます。 ウェハや製品上に異常箇所（変色・付着）が見つかったとき、TOF-SIMS測定を行うことで、洗浄・乾燥に起因するウォーターマークか、母材の変質物か、別工程での付着物かを切り分けることができ、不良原因追求に有効です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】液体中微粒子の構造・分散具合評価

クライオSEMを用いた液体状試料の断面構造観察

液体に分散させて用いる微粒子の粒径・構造を評価する際、従来は液体を乾燥させて粉体として微粒子を取り出し、電子顕微鏡を用いて測定しておりました。しかしながら、実際に用いる液体中で微粒子がどのように分散しているのかを調べるには不向きな測定法でした。 そこで、液体試料内で...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウォーターマークの無機・有機同時評価

微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定

TOF-SIMSには有機物、無機物の同時評価、微小領域に対応、最表面を感度よく分析できるなどの特徴がありますので、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。 Siウェハ上で純水を乾燥した事例を紹介します。光学顕微鏡では点状の異物や曇りがわずかに見えるだけです。TOF-SIMSで測定した結果、汚れ部では、炭化水素、PDMS、アミドなど自然に吸着しやすい有機成分が凝集していることが...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST