［SEM］走査電子顕微鏡法

高倍率観察(30万倍程度まで)が可能

で装置に搬入可能（装置による） ・SEMにオプションを組み合わせることにより、様々な情報を得ることが可能 　EDX検出器による元素分析が可能 　電子線誘起電流（EBIC）を測定し、半導体の接合位置・形状を評価 　電子後方散乱回折（EBSD)法により、結晶情報を取得可能 　FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能（Slice & View） 　冷却観察・雰囲気制...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［IC］イオンクロマトグラフ法

イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です

る方法です。 検出器には電気伝導度検出器、電気化学検出器、UV検出器、蛍光検出器、質量分析計等が用いられます。 カラムで分離した各イオン成分の保持時間はイオン成分ごとに異なるため、ピーク位置（保持時間）を標準試料と比較することで定性分析を行うことができます。また、測定強度と溶液中のイオン成分濃度が比例関係となるため、濃度既知の標準溶液との比較によりイオン成分の定量分析が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST