多孔質セラミックス

多孔質セラミックスとは、たくさんの気孔（ポーラス）があるセラミックスの…

して使われています。　　 多孔質のセラミックスですので、絶縁性・耐熱性があります。　 大きさによりますが、平面平行度5μm程度が可能であり、装置の高精度化が可能になります。 　　 こんな使い方はいかがでしょうか→　一般的なアルミナの多孔質セラミックスの他に、SiCでの多孔質セラミックスも取り扱っておりますので、アルミナでは対応できない環境（急冷・急熱・フッ酸系の薬品使用）でのご利用に多...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

アルミナ　セラミック

アルミナは電気絶縁性が高く、耐摩耗性、化学的安定性もある割に比較的安価…

ミナは、電気絶縁性(1015Ωcm)が高いのでチャンバー内での絶縁部品として、搬送アームは金属や樹脂と比べて曲げ強度があることから反りが発生しにくいためアーム自体を薄くできます。　　 こんな使い方はいかがでしょうか→ 大型アルミナ（3m以上の製品も可）や空洞セラミックス化（接着剤無しでのトンネル形状）が可能なので、半導体Φ450ウエハ製造装置や液晶G10ガラス基板製造装置などでの大型セラ...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

炭化ケイ素（SiC）　セラミックス

SiCは共有結合性が強いセラミックスで、アルミナを上回る硬度があります…

用治具(コンデンサー他）　などに使われています。　　炭化珪素(SiC)は、耐熱（1,000度以上でも）性や耐薬品性（耐プラズマ性）、耐磨耗熱伝導率の良さ、緻密さ、強度が生かされています。　　こんな使い方はいかがでしょうか→SiCでの薄型製品化が可能ですから、熱効率が良く、トレーやセッターとしてご利用を検討下さい。　　 電子基板用の焼成炉セッターなどに、薄いSiC板での対応が可能です。 　...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部