リアルタイム計測『パーティクルカウンター』※技術資料進呈

作業環境、現場での大粒子パーティクルの管理システム構築のための技術資料…

『パーティクルカウンター』は、コンタミネーションコントロール 分野の製品を取扱っている、株式会社エアリーテクノロジーの 光散乱方式微粒子計です。 運用モデルでは、OPC単独での作業の局所・動的管理や、 蒸着機などのシステムと連動運用で、チャンバーオープンから 次ロットの基板投入までの工程管理を行っています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 伸榮産業株式会社 本社、関東営業所