【導入事例】半導体製造装置（グローブBOX）の露点測定

装置内雰囲気や装置に供給するガスの露点測定に使用した事例の紹介！

ガスや空気に含まれている水分を測定する『露点計』を導入し、半導体製造装置 （グローブBOX）の露点測定を行った事例をご紹介します。 半導体製造過程で使用されるガスは高純度が求められる場合が多く、ガス中の 水分含有は製造品の品質に大きく影響を及ぼします。 製品製造装置など、密閉されている箇所に供給するガスや密閉されている 内部雰囲気の露点温度を測定するため、センサーを設置して常時監...

メーカー・取り扱い企業： 日本冶金化学工業株式会社

【導入事例】産業用ガス製造ライン（空気分離装置等）の露点温度管理

製造ラインから供給されてくる産業用ガスの露点温度を常時測定した事例の紹…

ガスや空気に含まれている水分を測定する『露点計』を導入し、産業用ガス 製造ライン（空気分離装置等）の露点温度管理を行った事例をご紹介します。 産業ガスプラントで製造した産業用ガスを運搬する配管や貯蔵するタンクの 周辺などに露点計センサーを設置し、24時間稼動し続ける製造ラインから 供給されてくる産業用ガスの露点温度を常時測定します。 産業用ガス製造ラインで管理する露点温度には品質...

メーカー・取り扱い企業： 日本冶金化学工業株式会社