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超精密洗浄分野に特化したフッ素系洗浄をベースに、お客様のニーズに合わせ…
【分析機器仕様(一部)】 <YPI-Nシリーズ(自動搬送)ウェーハ表面検査装置> ■対応基板サイズ:最大200mm×200mm ■スキャン方式:X-Yスキャン/θ-Xスキャン(螺旋スキャン) ■スル...
メーカー・取り扱い企業: 新オオツカ株式会社 東京支店
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