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    『医療用加速器向け真空ポンプ・排気システム』のご紹介

    信頼性の高いターボ分子ポンプTG-Fシリーズを搭載した排気システム

    ボ分子ポンプだけでなく 真空機器全般のシステム及び制御盤・制御シーケンスを含めた 設計・製作を担っています。 当社の約65年に渡る真空機器の実績と経験が評価され、粒子線治療に使用する 加速器の真空排気系に信頼性の高いターボ分子ポンプ「TG-Fシリーズ」を 搭載した排気システムが採用されています。 また、医療用加速器向けの排気ユニットと同様設計の標準排気ユニット、 STシリー...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所

  • 空冷式ドライ真空ポンプ FR060D 製品画像

    空冷式ドライ真空ポンプ FR060D

    大気圧で連続運転が可能!乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適!

    イ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくは...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所

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