リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター

半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…

半導体プロセス中のウエハ温度のモニタリングは非常に重要なプロセス・パラメータですが、今まで適切な測定方法が確立できていないために、温度以外のパラメータでプロセス状況を推測してきました。 ウエハ放射率にはロット内でばらつきがあるにも関わらず、一般の放射温度計では測定対象物の放射率をユーザーが適当に決めなければならないため、温度誤差が発生し、温度測定自体の信頼性が乏しいことがその理由でした。 弊...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム

近赤外・中赤外測定用　PbS/PbSe素子

近赤外・中赤外測定用　PbS/PbSe素子

感度や応答速度に優れた半導体型赤外線検知素子。波長1.0〜5.0μmに存在する、多彩なアプリケーションに適しています。世界シェアの90%を占めるCalSensorsInc.のセンサーですので、高い性能と信頼性でご使用いただけ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム

VIGO Photonics社製 MCTセンサ (HgCdTe)

電子冷却で使いやすい高感度赤外線センサ

最高ナノセカンドレベルの超高速応答と、超高感度が特徴の赤外線センサです。水銀(Hg)・カドミウム(Cd)・テルル(Te)を用いた半導体型検出器で、ご用途に合わせてPV(光起電力型)、PC(光導電型)、その他特殊タイプのご提案が可能です。非冷却/冷却、固浸レンズの有無などを選択することでより高い感度を実現できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム