クリーンルーム用 旋回流誘引型成層空調システム ＴＣＲ-ＳＷＩＴ

省エネ・省CO2・省コストを実現し　高精度環境を構築します。

半導体製造用クリーンルームは超微細な精密加工を高い歩留まりで実現するために、温度・湿度・清浄度(微粒子、ガス状汚染物質)を高精度かつ安定的に制御することが必要です。 TCR-SWITは、冷気は下降し暖気は上昇する原理を利用した旋回流誘引型の成層空調システムSWITの技術を、クリーンルームの製造環境（温度管理・清浄度管理）へ応用した空調システムです。 特許第5361140号、特許第663685...

メーカー・取り扱い企業： 高砂熱学工業株式会社