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半導体やFPDなどの製造プロセスに活躍!多様なニーズに応えるラインアッ…
当社は、半導体やFPDなどの製造に用いられる 『超高・高真空用バルブ』の設計・製作を手がけています。 ただいま、各種製品を収録した“総合カタログ”を進呈中です。 微細化する半導体プロセスに対応した「T...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ブイテックス 本社
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ゲートバルブ『True L-Motion Gate Valve』
微細化する半導体プロセスに対応!次世代型角型ゲートバルブのご紹介
。 OPEN/CLOSE動作時の低振動化のほか、新機構により低発塵化を 実現しました。 オプションにより、シール材質の変更や表面処理の追加が可能です。 【特長】 ■微細化する半導体プロセスに対応 ■低振動:OPEN/CLOSE動作時の低振動化を実現 ■低パーティクル:新機構により低発塵化を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ブイテックス 本社
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