【半導体業界向け】金属イオン溶出の無い自動着脱装置

金属イオン溶出の無い自動着脱用コネクタ（特許技術）を用いてウェハ洗浄液…

べてPTFEの自動着脱コネクタ（カプラ）を開発し、金属イオンの溶出を0にしました。 また、内弁がPTFE一体成形のため洗浄性が非常に高いです。 ※Body部はPVCでの製作も可能です。 半導体業界だけでなく、製薬業界等の強酸（塩酸）ラインで配管の自動切換装置にもご使用頂いております。...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

金属イオン溶出の無い自動着脱装置（コネクタ）

金属イオン溶出が許されないラインを自動化します！

す。無菌状態の維持が重要な殺菌、減菌工程以降のラインに最適です。また、弁ボディとノズルの材質がPVCのため、接液部分に金属はなく、プロセス流体への金属イオンの溶出がありません。強酸を使うラインや、半導体業界で使用されるウェハ洗浄液や、基板コート剤などの薬品を対象とした設備への導入が可能です。 ご要望のサイズや、特殊仕様がございましたらオーダーメイドで設計・試験・製作致しますのでお問合せ下さ...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部