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清浄度検査に新提案、エアブローで発塵・付着粒子を迅速検査
測定条件構築に便利で、ルーティン検査にも対応致します。 装置は、用途に合わせて測定粒子0.1~5.0μm用と0.3~5.0μm用の2種類をご用意しております。アメリカのシリコンバレーを中心に半導体産業向けの高度クリーンルーム内で使用する機材の部品洗浄、技術開発、生産、保守を手掛ける創業1988年のクリーン技術専門企業の発塵検査装置です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東京インスツルメンツ
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