小型均一・平行光露光光源「デモ機あり」

改良を重ねたオールマイティーな小型均一・平行光の露光用光源です。

とができます。 多種の照射径ユニットを取り揃えております。（100～400ｍ/ｍΦ） ※その他大面積はご相談下さい。 また、各種フィルター等もご要望によりご提案致します。 用途として、半導体ウェハ、水晶発振子等の電子部品の露光、マスクアライナー用光源、各種光学、露光実験装置として幅広く利用して頂いております。 【特徴】 ○ハィパワー・コンパクト化を実現した独自の光学設計 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三永電機製作所