真空配管設備　ヒータージャケットシステム　[配管設備温度調節]

配管設備における温度調節を低価格で実現し、メンテナンスコスト節減！配管…

半導体、FPDの製造に用いられる特殊ガスは、温度の低下に伴い酸化・窒化する性質があるため、使用後、排ガス処理装置へ送る配管内においても、一定の温度を保ったまま排出しないと、酸化・窒化した固形物が配管内に残存し、配管をふさいでしまいます。 テクノフレックスのヒータージャケットシステムは、こうした特殊ガスの配管設備における温度調節を低価格で実現し、長期のランニングによる配管洗浄の手間といったメンテナンスコス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノフレックス