工業･電子部品用露光装置

ガラスマスクとワークをアライメントし､微細なマスクパターンを転写する露…

ー技術､効率高いの超高圧水銀ランプ･メタルハライドランプが 織りなす高精度な｢平行光｣と､優れたコストパフォーマンスにより､最先端技術の 発展を支えます｡ 【片面マスクアライナー】 ●半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光工程に 　用いられます。 ●研究開発から、小・中ロット製造用に最適です。 【両面マスクアライナー】 ●ウェハー、ガラス基板...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社