マスフローコントローラ『Aera PI-980』

次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコント…

『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

メタルベローズポンプMB-111／MB-151

中型機種になり吐出圧・流量とも用途幅の広いシリーズ。半導体プロセスガス…

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ