半導体プロセス向けオゾン水生成装置オーダーメイド製造

濃度～100ppm、流量～60L/minの幅広い適応範囲！多種多様な要…

当社では、『半導体プロセス向けオゾン水生成装置のオーダーメイド製造』 を行っております。 半導体・FPD分野の製造プロセスにおける洗浄用途に活躍。 用途に応じたカスタマイズが可能なオゾン水生成装置です。 洗浄、レジスト剥離用途に適合、枚葉式洗浄装置にも好適です。 【特長】 ■旋回流式溶解法を採用 ■金属汚染のないクリーンオゾン水 ■幅広い要求に対応 ■カスタマイズ歓迎...

メーカー・取り扱い企業： エコデザイン株式会社