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薄膜の表面吸着ガス、膜中からの脱離ガスを評価可能
Si基板上SiN膜に関するTDS分析結果を示します。 100℃近傍までの低温域では脱ガスが少なく、試料の表面に吸着成分が少なかったことが分かります。 一方、試料の温度が上昇するに従い、m/z 2(H2)、m/z 18(H2O)、m/z 27(C2H3:有機物のフラグメント成分)が脱離しているのが分かります。高...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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FIBは、数nm~数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…
のスパッタリング現象を応用したエッチングにより、サブミクロンの精度で平滑な断面を作製したり、穴を開けたりすることができます。 ■原料ガス供給による立体構造形成 原料ガスを試料表面に吹き付けて吸着させ、集束イオンビームを目的の領域に照射すると、照射された部分だけが化学変化を起こし、この領域にデポジション薄膜が形成されます。 ■二次電子検出器による観察 サブミクロンオーダーに絞られた集...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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サンプル本来の状態を評価することが可能
高純度不活性ガス雰囲気下で試料前処理・搬送・測定までを行うことで、表面酸化・水分吸着・汚染付着を抑え、サンプル本来の状態を評価することが可能です。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定
発揮します。 Siウェハ上で純水を乾燥した事例を紹介します。光学顕微鏡では点状の異物や曇りがわずかに見えるだけです。TOF-SIMSで測定した結果、汚れ部では、炭化水素、PDMS、アミドなど自然に吸着しやすい有機成分が凝集していることがわかりました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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