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イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します
.高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く(70~80℃)基板への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリーです 5.極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い圧力での動作が可能 6.特殊コーティングのイオン源は高濃度酸素中でも酸化によるチャージアップが無く安定な運転が可能 7.スタート後わずか3秒で安定なビームが得られます 8.パルスモード/連続モード...
メーカー・取り扱い企業: VISTA株式会社
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