真空バルブ『Equalizer Control Valve』

ガスフローを均等にする必要があるプロセスに適した真空バルブ

『Equalizer Control Valve』は、圧力制御が可能な真空バルブです。 排気ポンプを内側に設置出来る為、省スペースに寄与し、ガスフローを 均等にする必要があるプロセスに適しています。 当社では、納期と予算を含め、ご要望に見合っ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブイテックス 本社

APC ペンドロールバルブ

圧力制御中にコンダクタンスゼロまで制御可能なペンドロールバルブ

なプロセスガスを節約できます。 オプションにより、シール材質の変更をはじめ、加熱仕様(本体)や 硬質アルマイト等の表面処理が可能です。 【特長】 ■低真空制御時には少ないガス流量でも圧力制御が可能 ■コンダクタンスゼロ中は少ないガス流量で制御可能 ■貴重なプロセスガスを節約できる ■操作圧力：1.0-3.0(s) ■寿命：100万回 1M(cycles) ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブイテックス 本社

『超高・高真空用バルブ 総合カタログ』※無料進呈中

半導体やFPDなどの製造プロセスに活躍！多様なニーズに応えるラインアッ…

微細化する半導体プロセスに対応した「True L-Motion Gate Valve」をはじめ、 大型化するFPD基板に対応した「Gate valve T-Motion」や、 少ないガス流量でも圧力制御可能な「APC Penduroll Valve」など お客様のご要望に応えるラインアップを掲載しています。 【掲載内容】 ◎超高・高真空用バルブのご案内 ◎搬送ゲートバルブ ◎排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブイテックス 本社