ピュアスチーム発生装置

PR省スペースを実現。ピュアスチーム発生量に比例して供給水量を制御。

本装置は、独自に開発した高効率の上昇流下液膜方式の蒸発缶を採用。 さらに、独自の圧力制御（予測制御）により発生蒸気圧力を安定して供給することが可能です。 SUS316L＋EP仕様でピュアスチーム発生量ごとにラインアップしております。 【特長】 ■蒸発缶と気液分離缶を一体化させることで省スペースを実現 ■始動より定格運転までの立上がりが早い ■飛沫同伴が生じないサイクロン方式の気液分...

メーカー・取り扱い企業： クリーンメカニカル株式会社 本社

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

.高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く（70～80℃）基板への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリーです 5.極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い圧力での動作が可能 6.特殊コーティングのイオン源は高濃度酸素中でも酸化によるチャージアップが無く安定な運転が可能 7.スタート後わずか3秒で安定なビームが得られます 8.パルスモード/連続モード...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

SLD-100 スマートリークディテクター

ヘリウムガス不要！各種サーチガスを使用可能な光学式リークディテクタ。 …

検出可能漏れ量 10-2 ～ 10-8Pa・m3/s 最大稼働圧力 約50Pa サーチガス Ar、Air（N2）,他 分析方法 　光学式 標準校正器 標準コンダクタンス素子 表示・操作部 　タッチパネルディ...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社