リアルタイム計測『パーティクルカウンター』※技術資料進呈

作業環境、現場での大粒子パーティクルの管理システム構築のための技術資料…

る、株式会社エアリーテクノロジーの 光散乱方式微粒子計です。 運用モデルでは、OPC単独での作業の局所・動的管理や、 蒸着機などのシステムと連動運用で、チャンバーオープンから 次ロットの基板投入までの工程管理を行っています。 当資料では、これらパーティクルカウンターの概念や改善ポイント、 近年光学膜に要求される欠陥サイズの大きさなど、大粒子パーティクルの 管理システム構築に関...

メーカー・取り扱い企業： 伸榮産業株式会社 本社、関東営業所