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株式会社リブテラステクノロジーズでは、アクティブ社製スピンコーターほか…
基板サイズ:~Φ150mm (Max.Φ6インチ、□110mm) ワーク(基板)の重量:300g以下 カップ内径:Φ300mm 外形寸法:W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm 電源:1Φ 100V-10A 50 / 60Hz 回転制御速度:0~6000rpm 回転精度:±1rpm以下 (負荷時) 基板吸着圧力:-70 ~ -80kPa 真空ポンプ排気量:12L/min以上...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リブテラステクノロジーズ
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