金属イオン溶出の無い自動着脱装置（コネクタ）

金属イオン溶出が許されないラインを自動化します！

工程以降のラインに最適です。また、弁ボディとノズルの材質がPVCのため、接液部分に金属はなく、プロセス流体への金属イオンの溶出がありません。強酸を使うラインや、半導体業界で使用されるウェハ洗浄液や、基板コート剤などの薬品を対象とした設備への導入が可能です。 ご要望のサイズや、特殊仕様がございましたらオーダーメイドで設計・試験・製作致しますのでお問合せ下さい。 また、弁単体だけでなく自動...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

【半導体業界向け】金属イオン溶出の無い自動着脱装置

金属イオン溶出の無い自動着脱用コネクタ（特許技術）を用いてウェハ洗浄液…

電子材料製造工場で、原料ラインから移動槽間と、移動槽から充填機への間の基板の洗浄液投入作業を自動化しました。 接液部がすべてPTFEの自動着脱コネクタ（カプラ）を開発し、金属イオンの溶出を0にしました。 また、内弁がPTFE一体成形のため洗浄性が非常に高いです。 ※...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

金属溶出無し！PTFE制自動着脱弁【ALL-PTFEコネクタ】

高い洗浄性！内部構造が非常にシンプルで流体の滞留部がない！金属溶出がな…

久性）と小型・軽量化を追及した製品です。 また、内弁を含めて弁内の全ての接液部の部品はPTFE で構成されている為、プロセス流体への金属イオンの溶出が無いので、半導体分野で使用されるウェハ洗浄液や基板コート剤などの薬品を対象とした設備への導入が可能です。 ■ナブテスコサービスのALL-PTFEコネクタの特長 高い洗浄性⇒内部構造が非常にシンプルで流体の滞留部がありません。 軸部局所ＳＩ...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部