『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

境にやさしい 　■熱伝導率が良く、結露しにくい 　■寸法精度・耐振動性・耐剛性にすぐれ、自動化に対応 　■ケース主要部品にアルミ材を使用 ◎クリーンケース 　■HEPA装置を搭載し、外部電源、または専用バッテリーで駆動 　■清浄度クラス100以下を実現 　■静電気除去装置「イオナイザー」を装備 ◎第6世代からの大型基板非接触搬送ケース 　■ガラス基板を非接触で搬送できる ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)