ビーム加工・金属３Dプリンターを用いたマスクやコリメーターの提案

超微細スリットのマスク、高アスペクト比のコーデッドマスク、コリメーター…

十ナノメートル程度に集束したイオンビームを試料表面で走査することで発生した2次電子などを検出して 　顕微鏡像を観察したり試料表面を加工したりすることができます。 レーザーパウダーベット方式（粉末床溶融結合方式　Laser Powder Bed Fusion，略称：L-PBF） 　金属パウダーを敷き詰めたベッドにレーザーを照射し、溶融・積層する方式。 　比較的小型・複雑な形状で高精度造形に...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社