東北大学技術：ポリイミドより強靭な樹脂モールド：T11-053

押し込み弾性率8.4 GPa！原版モールドの複製や欠陥検査を安価に実現

性が低い。本発明は、強靭で繰り返し耐久性に優れた樹脂製レプリカモールドに関するものである。本発明のモールドは樹脂中に無機粒子が分散した有機無機ハイブリッド材料から成り、ポリイミドよりも高い押し込み弾性率を持つ。本発明のモールドは、従来型の樹脂モールドと比較して離型力が大幅に小さいため、繰り返しインプリントを行った後もパターンの欠損が極めて少ない。また、無機粒子の混合割合が60wt%の時でも流動性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ