【分析事例】汚染原因となる工程の調査

手袋由来の汚染の評価

半導体デバイス製造において汚染工程を調べるため、不良の原因となる薄い付着物が何に起因するかを調べる必要があります。EDXでCが検出され、XPSで定量を行った付着物について、TOF-SIMSで分析を行いました。各工程で使用している標準試料の手袋と比較をしたところ、手袋A, Bと似た傾向が見られました。更に、標準試料の手袋をSiウエハに付着させて検証をしました。その結果、手袋Aに類似していることがわか...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

静電気関連測定器　製品カタログ

静電気対策リストストラップや、フットストラップ、導電スリッパなどを掲載…

『静電気関連測定器　製品カタログ』は新品・中古品販売・校正・修理受付 まで計測器のトータルソリューションを提供している東洋計測器株式会社の カタログです。 グランドコード付のリストストラップで、コードを1.8mと3ｍの2種類から 選べるリストストラップ「AS-101-6」をはじめ、導電性に優れているフット ストラップ「AS-201」や、制電防止手袋の「AS-301」などを掲載して ...

メーカー・取り扱い企業： 東洋計測器株式会社