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mini CORI-FLOWの適用(ポンプシステム 事例1)
【ポンプシステム 事例1】ガス又は液体プリカーサーデリバリー
ーブ計器は 同じくFLOW-BUSへ接続 ○主流体が変化すると、スレーブ計器はFLOW-BUS経由で マスターから変化した出力信号を受信し追従 ○スレーブ計器は自身で設定値を再計算 ○新しい設定値に対してスレーブ計器のPIDコントローラが作動し、 制御信号をポンプドライバーへ供給 ○結果としてポンプの回転数を制御して新設定値まで添加剤の流量を制御 [バッチカウンターへ適用]...
メーカー・取り扱い企業: ブロンコスト・ジャパン株式会社
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