ナローセクション ドライガスシール『AURA 120NS』

アップグレードコストを抑え、交換にかかる時間を短縮！最大120barの…

『AURA 120NS』は、既存の機器に取り付けられるように設計されている ドライガスシールです。 接触面の潤滑流体が不要になり、結果、オイルなどの潤滑流体に 含まれる有害な排出物への対処が不要になります。 当製品は、当社が積み上げた何十年にもわたる経験を適用。 アップグレードコストを抑え、交換にかかる時間を短縮します。 【特長】 ■シリコンカーバイド回転環と固定環 ■...

メーカー・取り扱い企業： 日本ジョン・クレーン株式会社

焼結ダイヤモンドの研削 加工事例

PCDの高速高圧研磨を実現！高速高圧研削加工

今後の市場拡大が予想されるSiC(シリコンカーバイド)、 GaN(ガリウムナイトラ)、PCD（焼結ダイヤモンド）などの基板は 硬く脆い性質を持った研磨加工の難しい素材です。 その中でも、特に加工の困難な焼結ダイヤモンドの 研磨を実現した加工事例をご紹介いたします。 【研磨結果】 ■表面粗さ＜3nm ■加工時間4時間（従来の方法での加工時間10時間） ■高速高圧研磨装置『E...

メーカー・取り扱い企業： 日本エンギス株式会社

SiCの研削 加工事例

SiCの両面研削を実現！両面研削加工

今後の市場拡大が予想されるSiC(シリコンカーバイド)、 GaN(ガリウムナイトラ)などのパワーデバイスにおいて、コスト削減は 重要な課題です。 その中でも、従来の加工プロセスと異る方法でコスト 削減を実現した加工事例をご紹介いたします。 【研磨結果】 ■表面粗さ＜0.5nm (後工程CMP) ■TTV＜2μm/Warp＜10μm ■高速圧研磨装置『EJD-6BY』と 　...

メーカー・取り扱い企業： 日本エンギス株式会社