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    IPA 蒸気洗浄装置

    デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA…

    特徴 ●材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能です。 ●実績が示す万全の安全対策 ●オールステンレスにより破損の危険性を排除 ●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減 ●お客様のワークに応じた仕様変更も可能です。...装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥 乾燥対象：６インチ　１カセット相当 　　　　　シリコン、ガラス、部品等 槽構成...

    メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

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